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招標(biāo)代理公司（立即查看） 受業(yè)主單位（立即查看） 委托，于2025-01-07在采購(gòu)與招標(biāo)網(wǎng)發(fā)布 高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)（GY202500029）采購(gòu)公告。現(xiàn)邀請(qǐng)全國(guó)供應(yīng)商參與投標(biāo)，有意向的單位請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系項(xiàng)目聯(lián)系人參與投標(biāo)。 打印公告高真空（略）（GY（略））采購(gòu)公告發(fā)布時(shí)間：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）閱讀量：（略）?次項(xiàng)目名稱高真空（略）項(xiàng)目編號(hào)GY（略）公告開始日期（略）-（略）-（略）:（略）:（略）公告截止日期（略）-（略）-（略）:（略）:（略）采購(gòu)單位信（略）付款方式預(yù)付（略）%，發(fā)貨（略）%，貨到驗(yàn)收合格后（略）%聯(lián)系人成交后在我參與的項(xiàng)目中查看聯(lián)系電話成交后在我參與的項(xiàng)目中查看簽約時(shí)間要求到貨時(shí)間要求簽訂合同后2個(gè)月內(nèi)預(yù)算總價(jià)￥（略）.（略）+NaN+NaN發(fā)票要求增值稅普通發(fā)票增值稅專用發(fā)票含稅要求送貨要求安裝要求收貨地址山東大（略）采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件公告說明采購(gòu)清單1采購(gòu)商品采購(gòu)數(shù)量計(jì)量單位所屬（略）類高真空（略）1臺(tái)半導(dǎo)體器件參數(shù)測(cè)量?jī)x無(wú)無(wú)品牌品牌1沈陽(yáng)科儀型號(hào)TRP（略）F品牌2型號(hào)品牌3型號(hào)品牌4型號(hào)品牌5型號(hào)品牌6型號(hào)預(yù)算單價(jià)￥?（略）.（略）技術(shù)參數(shù)及配置要求一、用途：1.用于制備：Au、Ag、Pt、W、Mo、Ta、Ti、Al、Si、Cu、Fe、Ni等。2.多靶材傾斜共濺射的方式，可沉積混合物化合物薄膜。3.在濺射過程中加入氧、氮或其它活性氣體,可沉積形成靶材物質(zhì)與氣體（略）子的化合物薄膜。4.設(shè)備簡(jiǎn)單易于控制、鍍膜面積大、薄膜附著力強(qiáng)，尤其適合高熔點(diǎn)和低蒸汽壓的材料。5.磁控濺射技術(shù)是工業(yè)鍍膜的主要技術(shù)之一，易于科研成果轉(zhuǎn)化，是新技術(shù)向工業(yè)領(lǐng)域推廣的最經(jīng)濟(jì)有效的方法之一。二、優(yōu)點(diǎn)：1.此標(biāo)準(zhǔn)型產(chǎn)品具有高穩(wěn)定性、高重復(fù)性、低故障率、便于維護(hù)、高成熟度等特點(diǎn)。2.通過控制真空室中的氣壓及濺射功率,就能獲得穩(wěn)定的沉積速率,通過精確地控制鍍膜時(shí)間,容易獲得均勻的高精度的膜厚,且重復(fù)性好。3.基片與膜的附著強(qiáng)度是一般蒸鍍膜的（略）倍以上,且由于濺射粒子帶有高能量,在成膜面會(huì)繼續(xù)表面擴(kuò)散而得到硬且致密的薄膜，同時(shí)高能量使基片只要較低的溫度即可得到結(jié)晶膜。4.濺射的薄膜表面微觀形貌比較精致細(xì)密，而且非常均勻。如濺射的金屬膜通常能獲得良好的光學(xué)性能、電學(xué)性能及某些特殊性能。5.在沉積大部（略）的金屬薄膜，尤其是沉積高熔點(diǎn)的金屬和氧化物薄膜時(shí)，如濺射鎢、鋁薄膜和反應(yīng)濺射TiO2、ZrO2薄膜，具有很高的沉積率。6.磁控濺射鍍膜法不產(chǎn)生環(huán)境污染，可替代傳統(tǒng)的濕法電鍍。三、均勻性：片內(nèi)膜厚均勻性：≤±5%：四、極限真空度：≤6.6x（略）-6Pa經(jīng)烘烤除氣后；五、抽速：從大氣開始抽氣：（略）鐘可達(dá)到6.6x（略）-4Pa（略）停泵關(guān)機(jī)（略）小時(shí)后真空度：≤5Pa；七、真空室：1.單室結(jié)構(gòu)；2.手動(dòng)前開門；3.優(yōu)質(zhì)（略）不銹鋼材質(zhì)；4.尺寸約：Ф（略）mmx（略）mm；5.具備內(nèi)烘烤除氣功能；6.具備腔外照明功能；八、磁控濺射靶：1.強(qiáng)磁靶：1套；2.永磁靶：2套；3.尺寸：2英寸；4.向上濺射；5.可實(shí)現(xiàn)傾斜共濺射；6.靶基距可調(diào)：（略）mm-（略）mm；九、直流濺射電源：1.輸出功率：0-（略）W；2.數(shù)量：2套；十、射頻濺射電源：1.輸出功率：0-（略）W；2.輸出頻率：（略）.（略）MHz；3.自動(dòng)匹配器；4.數(shù)量：1套；十一、基片臺(tái)：1.尺寸：4英寸（兼容小尺寸基片）；2.數(shù)量：1片；3.鐵鉻鋁爐絲加熱，爐絲溫度：（略）℃±1℃（無(wú)氧環(huán)境）；4.基片自轉(zhuǎn)速度：5～（略）轉(zhuǎn)（略）；5.配有負(fù)偏壓電源；十二、氣體流量控制器：1.氬氣：0-（略）SCCM（準(zhǔn)確度：±1.5%F.S）；2.氮?dú)猓?-（略）SCCM（準(zhǔn)確度：±1.5%F.S）；3.氧氣：0-（略）SCCM（準(zhǔn)確度：±1.5%F.S）；十三、脂潤(rùn)滑（略）子泵：（略）LS；十四、旋片真空泵：（略）LS；十五、復(fù)合真空計(jì)：1x（略）Pa-1x（略）-7Pa；十六、工藝薄膜規(guī)：（略）.3（略）：磁（略）使用我公司自主開發(fā)的“PV（略）V2.3”：1（略）具有完備（略），并對(duì)關(guān)鍵部件有完備的故障報(bào)警及報(bào)警動(dòng)作保護(hù)措施，確保設(shè)備使用安全。2（略）采用配方式自動(dòng)工藝流程，提供開放式工藝編輯、存儲(chǔ)與調(diào)取執(zhí)行，可實(shí)現(xiàn)真空獲得、控制溫度、鍍膜工藝、真空釋放等工藝的自由組合，并一鍵式全自動(dòng)運(yùn)行。3.同時(shí)也可通過操作人機(jī)交互界面完成對(duì)設(shè)備中各部（略）模塊參數(shù)的手動(dòng)設(shè)置以及具體功能的手動(dòng)控制（略）運(yùn)行過程中監(jiān)測(cè)到的各種操作記錄以及產(chǎn)生的各種數(shù)據(jù)記錄。4（略）具有權(quán)限管理、模式管理功能，（略）狀態(tài)、真空獲得、手動(dòng)控制、自動(dòng)工藝、工藝曲線、報(bào)警記錄和歷史記錄七部（略）組成。4.1（略）權(quán)限（略）為兩級(jí)：Admin（管理員），User（操作者），具體如下表：用戶名用戶身份手動(dòng)操作權(quán)限自動(dòng)操作權(quán)限歷史數(shù)據(jù)查詢權(quán)限工藝編輯權(quán)限參數(shù)設(shè)定權(quán)限Admin管理員√√√√√User操作者√√4.2（略）模式（略）為兩種：手動(dòng)模（略）處于手動(dòng)模式時(shí)，用戶可進(jìn)行泵、閥、質(zhì)量流量控制計(jì)、擋板和工藝電源等部件的控制，此時(shí)無(wú)法執(zhí)行（略）處于自動(dòng)模式時(shí)，用戶可執(zhí)行預(yù)（略）的自動(dòng)工藝流程，此時(shí)無(wú)法進(jìn)行部件的手動(dòng)操作。4.3.（略）頁(yè)（略）狀態(tài)、真空獲得、手動(dòng)控制、自動(dòng)工藝、工藝曲線、報(bào)警記錄、歷史記錄4.4（略）狀態(tài)”（略）頁(yè)為默認(rèn)（略）界面，用于顯示設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)：？真空獲得（略）控制。？手動(dòng)控制（略）頁(yè)：用于進(jìn)行工藝電源、加熱電源、擋板、樣品臺(tái)等部件的相關(guān)控制。？自動(dòng)工藝（略）頁(yè)：用于編寫和（略）設(shè)備自動(dòng)模式下運(yùn)行的工藝流程。？工藝曲線（略）頁(yè)：用于顯示實(shí)時(shí)的真空度和工藝溫度等曲線。？報(bào)警記錄（略）中正在發(fā)生的報(bào)警狀態(tài)。？歷史記錄（略）頁(yè)（略）中記錄的各類數(shù)據(jù)。十八、工具箱：標(biāo)準(zhǔn)1套；十九、冷卻水循環(huán)機(jī)：標(biāo)準(zhǔn)1套；二十、空氣壓縮機(jī)：標(biāo)準(zhǔn)1套；二十一、備件：1.各規(guī)格無(wú)氧銅圈：1套。2.各規(guī)格膠圈：1套。3.外照明燈：1個(gè)。4.烘烤燈：2個(gè)。5.電離規(guī)：2個(gè)。6.不銹鋼螺釘螺帽：1套。7.各規(guī)格保險(xiǎn)絲：各（略）個(gè)。二十二、關(guān)鍵配置：1.磁控靶：2寸，3套，沈陽(yáng)科儀2.直流濺射電源：（略）W，2套，吉兆源3.射頻濺射電源：（略）W，1套，吉兆源4.偏壓電源：-（略）V1套吉兆源5.氣體流量控制器：（略），3套，七星6.脂潤(rùn)滑（略）子泵，（略）LS，1套，中科科儀7.旋片真空泵,（略）LS，1套，優(yōu)成8.電動(dòng)插板閥：CF（略），1套，沈陽(yáng)科儀9.氣動(dòng)（略）閥：CF（略），1套。國(guó)產(chǎn)（略）.真空計(jì)（含規(guī)管）：大氣-（略）-7Pa，1套，成都睿寶（略）.薄膜規(guī)：（略）.3Pa，1套，日本佳能（略）.空壓機(jī)：1套，浙江杰豹（略）.冷水機(jī)：3.（略）kw，1套，東莞安格斯二十三、設(shè)備占地面積：設(shè)備：長(zhǎng)2.1m（略）寬2.1m（略）高1.8m。設(shè)備重量約1T。注：設(shè)備前方、后方需要根據(jù)實(shí)際留出氣源等的操作空間，大約0.5米。二十四、設(shè)備供電：1.三相電：（略）VAC，（略）Hz，三相四線制。2.三相輸入總功率約（略）KW。3.至少有1個(gè)（略）A四極插座（（略）具有過載保護(hù)措施），三火一（略），或者有1個(gè)（略）A三相空氣開關(guān)。4.至少有兩個(gè)（略）A空氣開關(guān)或插座。二十五、質(zhì)量保證：1.按ISO（略）質(zhì)量管理體系組織設(shè)計(jì)、加工、裝調(diào)、檢驗(yàn)、包裝、運(yùn)輸。2（略）說明書、詳細(xì)操作流程及外購(gòu)配件儀器儀表說明書。3.在甲方（略）驗(yàn)收后，一年內(nèi)免費(fèi)維修正常使用出現(xiàn)的故障，非正常的故障維修只核收工本費(fèi)，終身維修只核收工本費(fèi)。二十六、培訓(xùn)：1.培訓(xùn)時(shí)間：1～5天；培訓(xùn)人數(shù)：1～5人。2.培訓(xùn)內(nèi)容及要求：3.了解設(shè)備的工作（略）的工作原理和使用方法；4（略）的操作規(guī)程；5.對(duì)設(shè)備的一般故障進(jìn)行診斷和簡(jiǎn)單維修，進(jìn)行易損件的更換；6.對(duì)設(shè)備能夠進(jìn)行日常的維護(hù)和保養(yǎng)。參考鏈接售后服務(wù)質(zhì)保期限:1年;（略）-（略）-（略）:（略）:（略）查看內(nèi)容