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一、合同編號(hào)：HZGH-（略）-（略）

二、合同名稱：

三、項(xiàng)目編號(hào)：HZGH-（略）-（略）

四、項(xiàng)目名稱：

五、合同主體

采購(gòu)人(甲方)：西北大學(xué)

地址：（略）

供（略）

地址：（略）方式：（略）-（略）

六、合同主要信息

主要標(biāo)的：

序號(hào)	名稱	數(shù)量(單位)	單價(jià)(（略）)	總價(jià)(（略）)	規(guī)格型號(hào)/服務(wù)要求
1	1(套)	￥（略）,（略）.（略）	￥（略）,（略）.（略）	1、設(shè)備主機(jī) 1）適用于8英寸以及小尺寸樣品薄膜沉積；沉積薄膜的均勻性不低于如下標(biāo)準(zhǔn)：在8英寸晶圓上沉積（略）nm薄膜（如氧化鋁），以晶圓上5個(gè)均勻（略）散點(diǎn)（（略））進(jìn)行橢偏儀測(cè)試膜厚，薄膜不均勻性≤2%。 2）控制方式：PLC+觸摸屏； 3）多種沉積模式。 2（略） 1）反應(yīng)腔材質(zhì)為（略）L不銹鋼，電解拋光； 2）樣品臺(tái)尺寸：標(biāo)準(zhǔn)8英寸腔體； 3）樣品臺(tái)加熱溫度最高可達(dá)（略）℃，控制精度為±1℃； 4）反應(yīng)腔配備自動(dòng)充氣及過壓保護(hù)功能。 3（略） 1）提供常溫源，加熱源和載氣輔助源各前驅(qū)（略）實(shí)現(xiàn)（至少可實(shí)現(xiàn)常溫源1（略），加熱源3（略），載氣輔助源2（略））； 2）前驅(qū)體（略）加熱溫度范圍不低于RT-（略）℃； 3）配備各前驅(qū)體源ALD閥門，加熱源配備耐高溫閥，確保源瓶溫度加熱不小于RT-（略）℃范圍； 4）（略）及接頭均采用（略） EP級(jí)電解拋光不銹鋼材料，所有（略）連接處采用真空卡套及VCR連接；（略）采用N2或者Ar氣體，通過質(zhì)量流量控制器控制，并實(shí)現(xiàn)清洗功能。 4（略） 1）配備臭氧發(fā)生器、臭氧破壞器、MFC（量程0-（略）sccm）； 2）臭氧發(fā)生器產(chǎn)量可達(dá)（略） g/h，濃度可達(dá)（略） g/m3； 3）臭氧發(fā)生器采用風(fēng)冷方式無需配備冷卻水。 5（略） 1）真空泵采用（略）優(yōu)于3Pa； 2）真空測(cè)量檢測(cè)范圍5×（略）-4~（略） mbar； 3）真空泵前熱阱前端全程伴熱溫度范圍優(yōu)于RT-（略）℃，防止過量前驅(qū)體冷凝，熱阱溫度范圍優(yōu)于RT-（略）℃，控制精度±1℃。 6（略） 采用高（略），實(shí)現(xiàn)（略）全自動(dòng)控制加熱、流量等全部沉積過程，以及溫度、壓強(qiáng)等實(shí)時(shí)監(jiān)控。可實(shí)現(xiàn)配方編輯、保存、讀取等功能；所有ALD閥門具備自動(dòng)排空功能，管線具備自動(dòng)清洗功能等。當(dāng)發(fā)生異常時(shí)觸發(fā)報(bào)警并做出響應(yīng)，報(bào)警日志可進(jìn)行回看。 7、驗(yàn)收指標(biāo) 在8英寸晶圓上沉積（略）nm薄膜（如氧化鋁），以晶圓上5個(gè)均勻（略）散點(diǎn)（（略））進(jìn)行橢偏儀測(cè)試膜厚，薄膜不均勻性≤2%。 8、服務(wù) 質(zhì)保期1年，（略）終身免費(fèi)升級(jí)。

合同金額： （略）,（略）.（略），大寫(人民幣)：（略）

履約期限：（略）年（略）月（略）日至（略）年（略）月（略）日

履約地址：（略）競(jìng)爭(zhēng)性談判

七、合同簽訂日期

（略）年（略）月（略）日

八、合同公告日期

（略）年（略）月（略）日

九、其他補(bǔ)充事宜

合同附件：

西北大學(xué)

（略）年（略）月（略）日